Proceedings of JSME-IIP/ASME-ISPS Joint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment : IIP/ISPS joint MIPE
Online ISSN : 2424-3132
2003
会議情報
MN-09 DYNAMIC MENISCUS MODELS FOR MEMS ELEMENTS
Shunji MATSUMOTO, Yoshinobu NISHINE, Akitoshi YAMAGUCHI, Hiroshi MORISHITA, Hiroshige MATSUOKA, Shigehisa FUKUI
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p. 71-72

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© 2003 The Japan Society of Mechanical Engineers
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