2P2-61-090 SEM 内微細作業用マイクロロボットと YAG レーザによる微細加工

抄録

本研究では走査型電子顕微鏡内で微細な作業を実行する昆虫型小型ロボットを用いたフレキシブル生産システムの構築を目標としている。本報では外部からファイバーでYAGレーザを導入し, これを1台超小型ロボットに搭載し, また他の2台のロボットが協調して試料の保持と位置決めを行い, 任意の微細加工を実施するシステムを開発した。ここではこの基本構成とユニークな加工に成功したので報告する。