1P1-63-096 マルチポリマー・マイクロ光造形法 : 造形システムの試作と光 MEMS への応用

抄録

性質の異なる複数の紫外線硬化樹脂を用いて, 機能デバイスを作製する造形法(マルチポリマー・マイクロ光造形法)を提案する。本手法を用いれば, 樹脂の光学的, 機械的さらには電気的特性などを活かして, ポリマー製デバイスを作製できる。実際に, 造形システムを試作し, さらに, 屈折率の異なる2つの樹脂を用いて, 種々の光導波路を作製した。