1P1-63-097 光造形法を用いたマイクロアクチュエータの開発

抄録

本研究では光造形法に注目し, 静電型3自由度マイクロアクチュエータの開発を行った。アクチュエータの製作には, 光造形法により鋳型を作製し電鋳をすることで金属構造体を得る方法を用いた。製作したアクチュエータは2×2mmの上部極板と4分割された下部電極から構成され, 上部電極は4本の梁によって支持されている。下部電極に印加する電圧のパターンを変化させることで3自由度の動作を実現できる。