2A1-62-079 電子顕微鏡下における高精度微小物体 Pick & Place 手法

抄録

近年, メゾスコピック寸法領域の微小物体を位置決めする技術の需要が高まり, 表面凝着力を利用したマニピュレーションが研究レベルで行われるようになってきた。だが, 多くは操作者の経験と試行錯誤によって目的を果たしており, 未だ理論的に体系だった手法は確立されていない。本研究はマクロの力学系に「付着力」と「転がり抵抗」の項を入れることにより, 電子顕微鏡下における高精度微小物体Pick&Place手法を理論的に導出し, 実験により有効性を検証した。