2P2-20-022 合焦断面法による三次元形状計測

抄録

本報告では, shape-from-focus法を計測原理とし生産ラインへの適用を目的として考察した新しい三次元形状計測法について, その構成と計測精度について述べる。合焦面による計測対象の切断面の輪郭を合焦度評価値より求める。撮像光学系の直下を通過する移動ステージ上の計測対象を合焦面により連続走査することにより, 計測対象の輪郭情報を得ることができる。200μmの段差計測を行い, 20μmの計測精度(2σ)を得ることができた。