2A1-A09 バルクマイクロマシニングによるアレイ型エアーフローアクチェータ : 自律分散搬送システムを指向した MEMS

抄録

バルクマイクロマシニング技術により作製した多数のマイクロアクチュエータをアレイ状に配置した, マイクロ搬送システムを実現した。本システムは, 個々のマイクロアクチュエータが自律的に動作することで, 全体として搬送用の気流を制御し, 物体を浮上させ搬送するシステムであり, シリコン基板で作製されたアクチュエータアレイで構成される駆動部と, 自律分散システムに基づいたアルゴリズムを持つ制御回路部からなる。今回はシステムの主要構成部である気流を用いたアクチュエータを製作し, 物体の浮上・搬送に成功したので報告する。