2A1-F11 昆虫の感覚毛を規範とした気流センサ

抄録

昆虫の感覚毛を規範とした気流センサを表面マイクロマシン技術で実現した。ゴキブリやコオロギは尾葉に分布する細い感覚毛を用いて, 微弱な気流を感知し回避行動などを行っている。製作したセンサの構造は, シリコン製の固定極と可動極を対向させてコンデンサを構成した静電容量型である。感覚毛に相当する片持ち梁は可動極に固定されていて, 気流による片持ち梁の変位は可動極に伝達され固定極との距離が変化し静電容量が変化する。本講演では試作した気流サンサの動作原理と評価実験について報告する。