2A1-104 粗面計測の精度を向上した共焦点三次元計測装置

抄録

非走査型の共焦点撮像光学系を用いた三次元計測装置を開発した.開発した装置は, 走査型共焦点顕微鏡を用いた三次元計測に比較して計測速度を大幅に向上させており, 1視野480×480計測点を0.2秒サイクルで, 1視野480×240点を0.1秒サイクルで計測することが可能である.また, 従来共焦点光学系による三次元計測では, 粗面計測における精度・信頼性の低下が問題とされてきたが, 本装置では光学的な微小平滑化機構を搭載することにより, 粗面計測の精度・信頼性を著しく改善している.