2A1-2F-E4 流体の慣性効果を用いたマイクロポンプの高出力化

抄録

流体の慣性効果を用いる積層形圧電素子駆動のマイクロポンプに関して, ポンプ出力を増加させるために行ったダイヤフラムを弁に関する改良について述べ, 更に, これら改良前後のポンプ出力特性について述べる。