カーボンナノチューブの生成過程観察のための走査型電子顕微鏡内局所CVD装置の開発

糟谷 圭吾; 大井 健; 土屋 健介; 中尾 政之

doi:10.2493/jspe.71.211

論文

カーボンナノチューブの生成過程観察のための走査型電子顕微鏡内局所CVD装置の開発

糟谷圭吾, 大井健, 土屋健介, 中尾政之

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ジャーナルフリー

2005 年 71 巻 2 号 p. 211-215

DOI https://doi.org/10.2493/jspe.71.211

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抄録

カーボンナノチューブ (CNT) はその特異な性質から優れた微細構造要素として期待される. しかし, その生成過程は十分に解明されておらず, 実用化に有効な生成方法の開発は難しかった. そこで, 本研究はCNTの生成過程を明らかにするため, 走査型電子顕微鏡内でCNTを合成し, その過程を観察するための局所CVD装置を開発した. 観察の結果, 根元から5nm/secで成長する多層カーボンナノチューブの生成過程が確認された.

責任著者(Corresponding author)

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