基板励振により残留応力制御した薄膜の機械的性質

鈴木 崇雅; 松原 安孝; 松室 昭仁

doi:10.2493/jspe.71.278

抄録

著者らは基板励振による新しい薄膜の残留応力制御法を提案した. 本手法を応用するため, 機械的性質の変化を知る必要がある. 本研究では本手法で形成した薄膜の残留応力と硬さ, 弾性係数, 摩擦, 摩耗特性および耐久性の関係を明らかにした. また, 著者らが開発した応力負荷その場表面観察装置を用いて, 残留応力による破壊特性の変化を明らかにした.

著者関連情報

お気に入り & アラート

お気に入りに追加
追加情報アラート
被引用アラート
認証解除アラート

閲覧履歴

Measurements of Net Ecosystem Production by Eddy Correla tion Method
医療薬学研究に取り組むための基礎と実践
趣味養蜂のための拡張機能を有した小型巣箱の開発
Active Control of Airspring Secondary Suspension for Improving Ride Comfort in Presence of Random Track Irregularity
Synthetic Studies of Vitamin D Analogues. IX. Synthesis and Differentiation-Inducing Activity of 1α, 25-Dihydroxy-23-oxa-, thia-, and azavitamin D₃

後続誌

精密工学会誌

責任著者(Corresponding author)

J-STAGEへの登録はこちら（無料）