精密工学会誌論文集
Online ISSN : 1881-8722
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論文
フェムト秒レーザダブルパルスによるクロム薄膜アブレーション
大村 悦二岡本 智洋藤原 誠司佐野 智一宮本 勇
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2005 年 71 巻 2 号 p. 284-289

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抄録
アブレーション実験を行い, 電子-格子間エネルギー緩和を考慮した分子動力学法によって定性的に解析した. ダブルパルスアブレーションでは, 強度比と遅延時間に依存して, アブレーションフロントを形成するアブレーションと, アブレーションフロントを形成しない破砕型アブレーションがあること, 後者では, アブレーション粒子を細かくできることを明らかにした.
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© 2005 公益社団法人 精密工学会
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