精密工学会誌論文集
Online ISSN : 1881-8722
Print ISSN : 1348-8724
ISSN-L : 1348-8716
論文
400mmシリコンウェハの非接触静電浮上
山下 典理男, 山本 晃生, 樋口 俊郎, 保井 秀彦
著者情報
ジャーナル フリー

2005 年 71 巻 3 号 p. 342-346

詳細
PDFをダウンロード (1134K)
メタデータをダウンロード RIS形式

(EndNote、Reference Manager、ProCite、RefWorksとの互換性あり)

BIB TEX形式

(BibDesk、LaTeXとの互換性あり)

テキスト
メタデータのダウンロード方法
発行機関連絡先
抄録
f400mmシリコンウェハの非接触静電浮上を実現した. 大型ウェハではウェハの変形による自由度の増加が無視できないため, 電極の分割数を増やし, 浮上システムにより多くの自由度を持たせることで, 安定な浮上を実現した. また, 電極への印加電圧の制御にオン-オフ制御を用いたが, 空気のダンピング力の存在によりオン-オフ制御のみでも浮上の安定化が可能であることが示された.
著者関連情報
© 2005 公益社団法人 精密工学会
前の記事 次の記事
お気に入り & アラート

閲覧履歴
後続誌

精密工学会誌

このページを共有する
feedback
 Top