精密工学会誌論文集
Online ISSN : 1881-8722
Print ISSN : 1348-8724
ISSN-L : 1348-8716
論文
波長走査干渉計による多面干渉計測手法の開発
花山 良平, 日比野 謙一, Jan BURKE, Bozenko F. OREB, 割澤 伸一, 光石 衛
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2005 年 71 巻 5 号 p. 579-583

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抄録
波長走査干渉計にて, 任意の高調波信号の位相を検出可能であり, 波長走査の非線形性などによる周波数変調誤差に対する補償能力を有する位相検出アルゴリズムを開発した. これにより, 複数の透明で両面が平行な層からなる積層試料の, 各界面の形状と各層の光学的厚さ変動を, 不確かさ1/10以下で同時に測定可能であることを示した.
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© 2005 公益社団法人 精密工学会
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