ピエゾ素子とVCMを備えた除振装置の除振条件に関する一考察

抄録

ピエゾ素子, VCM, および速度センサを備える除振装置に全状態フィードバックを適用した. 出力零化制御の結果を包含する除振率零の条件が見出され, これが床振動フィードフォワードと等価であることを示した. 適切なダイナミクスを導入後, パラメータ調整して除振率の周波数特性を整形した. その結果, ピエゾ素子の変位量とVCMの駆動力が実現可能な範囲内にあることを確認した.