EEM (Elastic Emission Machining)プロセスにおける加工液がSi(001)表面のマイクロラフネスに及ぼす影響

抄録

EEMにおける超純水や加工液が, Si (001) 表面のマイクロラフネスに及ぼす影響を評価した. その結果, 超純水中とは異なり, 加工液中に浸漬後のSi (001) 表面は, エッチングされにくく, マイクロラフネスがほとんど変化しないことが明らかになった. このことから, EEMによって平坦化されたSi表面が, 加工液中に長時間存在しても, 表面平坦性への影響は少ないことがわかった.