フェムト秒ダブルパルスレーザ照射による表面周期構造の形成

抄録

フェムト秒レーザを用いた周期構造の形成手法は, 形状的な表面機能を実現する材料改質法として, トライボロジー特性や非凝着性の向上用途に活用できる. 本報では, 時間波形制御で生成したフェムト秒ダブルパルスのパルス遅延時間や照射エネルギー比・照射ピッチの最適化で, 周期構造の構造均一性や空間周期の均一性の向上が図れることを明らかにした.