精密工学会誌論文集
Online ISSN : 1881-8722
Print ISSN : 1348-8724
ISSN-L : 1348-8716
論文
隙間材入りガラスディスク研磨スラリーの開発
―脂肪酸塩の研磨性能に対する効果―
佐藤 誠, 亀山 哲也, 野浪 亨, 佐々木 節夫
著者情報
ジャーナル フリー

2005 年 71 巻 7 号 p. 916-920

詳細
PDFをダウンロード (1289K)
メタデータをダウンロード RIS形式

(EndNote、Reference Manager、ProCite、RefWorksとの互換性あり)

BIB TEX形式

(BibDesk、LaTeXとの互換性あり)

テキスト
メタデータのダウンロード方法
発行機関連絡先
抄録
ガラスディスク研磨におけるコストダウンと加工精度向上を目的として, セリアスラリーに脂肪酸塩を添加したところ, 研磨性能が向上する事が判明した. これを基に, 隙間剤入り研磨スラリー (ISM研磨スラリー) を提案した. 研磨性能は, 研磨レートが約50%向上, 微小うねりが約40%低減, ガラスディスク表面の付着物量が約5分の1となった.
著者関連情報
© 2005 公益社団法人 精密工学会
前の記事 次の記事
お気に入り & アラート

閲覧履歴
後続誌

精密工学会誌

このページを共有する
feedback
 Top