東北大学大学院
東北大学大学院工学研究科
2005 年 71 巻 8 号 p. 1051-1055
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2次元角度センサと表面に2次元正弦波パターンを有す2次元角度格子からなるサーフェスエンコーダを波動光学的に解析した結果, 角度格子の5自由度の運動に対して角度センサ受光素子上で生成される干渉パターンが各運動によって異なる挙動を示すことを見出した. ここでは, スポットの挙動を独自の多素子型PDで検出することで5自由度の運動を分離測定する手法を提案し, 有効性をシミュレーションで確認した.
精密工学会誌
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