抄録
レーザー生成プラズマから発せられる極端紫外線（Extreme Ultraviolet, EUV）光源・水の窓光源はレーザーエネルギーから放射エネルギーへの変換効率を高めることが重要である．EUVリソグラフィの産業化を間近に控える背景から，変換効率を上げるための様々な研究がなされてきた．特に20 μm程度のスズの液滴（ドロップレット）をパルスレーザー照射により先行膨張させた後，CO2レーザーを照射する手法はEUVリソグラフィ光源業界の標準手法となっている．本稿では，レーザーによるプラズマの生成とそこからのEUV放射に関して述べ，EUV放射への変換効率を高めるために我々が行った2つの診断技術に関して解説する．
