抄録
次世代半導体リソグラフィやX線顕微鏡の光源としてプラズマの応用技術開発が精力的に行われているが，プラズマの複雑な情報を含んでいる発光スペクトルの解析は理論計算に頼る部分が大きい．しかし，シミュレーション計算に用いられる原子データが全て理論計算によるものでは，その精度には限界があるのが現状である．本章では，プラズマを構成している多価イオンの遷移波長データ取得に有用な手法として，発光価数が限定可能な電荷交換分光法と，プラズマ中の最高イオン価数が制御可能な電子ビームイオントラップ（electron beam ion trap: EBIT）を用いた分光実験を紹介する．
