陽電子消滅法による材料表面の解析

抄録

表面の原子構造や電子状態を測定できる新しい表面解析プローブとして, 低速陽電子が注目を集めている。また, 低速陽電子を用いて, 表面近傍の空孔型格子欠陥の深さ分布を, 極めて高感度かつ非破壊で検出することが可能である。多層膜構造を持つ試料では, 薄膜の評価や界面の位置を知ることもできる。本稿では, 陽電子のユニークな特徴を利用した最新の応用例について報告する。