真空技術基礎演習講座(1)—気体分子運動論・真空と表面・希薄気体の流れ (1)，真空計測・真空ポンプと排気系・真空材料とガス放出—

Journal of the Vacuum Society of Japan

Online ISSN : 1882-4749
Print ISSN : 1882-2398
ISSN-L : 1882-2398

講座

柴田恭

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ジャーナルフリー

2017 年 60 巻 6 号 p. 201-211

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