真空技術基礎演習講座(2)—気体分子運動論・真空と表面・希薄気体の流れ (2)，真空部品と可動機構・真空システム・成膜とプラズマの基礎—

Journal of the Vacuum Society of Japan

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真空技術基礎演習講座(2)—気体分子運動論・真空と表面・希薄気体の流れ (2)，真空部品と可動機構・真空システム・成膜とプラズマの基礎—

柴田恭

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ジャーナルフリー

2017 年 60 巻 6 号 p. 212-219

DOI https://doi.org/10.3131/jvsj2.60.212

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© 2017 一般社団法人日本真空学会

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