主催: 日本表面真空学会
産総研 計量標準
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溶接欠陥のリーク箇所を通過するリーク量を、定容リーク量計を用いて正確に測定した。欠陥に加えた圧力が100 kPaのときのリーク量は1.8x10-3 Pa m3/sであった。その圧力を10 kPaから100 kPaの間で変化させたとき、圧力を上げる方向と下げる方向とでは、同圧力でもリーク量に最大10%の差があった。そのような特性は、細管を用いた標準リークでは見られなかった。
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