永久磁石レンズを用いた吸引プラズマ法の局所加工について

抄録

吸引プラズマ法はプラズマが発生する細管先端の口径を小さくすると安定してプラズマが発生しないという問題点があり，次世代のより精度の高いエッチング加工のため，プラズマの更なる局所化が求められている^．本研究では，それらの問題を解決するために小型で強い磁場を発する永久磁石を用いた磁場レンズに注目し，有限要素法による磁場解析を行い，鋼材の形状を設計することにより，磁場レンズを製作した．