日本表面真空学会学術講演会要旨集
Online ISSN : 2434-8589
2021年日本表面真空学会学術講演会
セッションID: 2Dp02S
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2021年11月4日
多数スペクトルデータを利用した共通ピーク構造の逆推定
*村上 諒, 庄野 逸, 永田 賢二, 篠塚 寛志, 吉川 英樹
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抄録

X線光電子分光(XPS)において,同一の単相化合物試料を測定しても,装置の違いや実験条件により観測スペクトルの形状が異なる.そのため,未知試料の同定にあたって、異種装置で得られたXPSデータベースにある単相化合物の観測スペクトルの参照方法が作業者に依存する問題がある.本研究では,計測によって揺らいだ多数の観測スペクトルからその揺らぎを排除した共通ピーク構造を推定する手法の開発を行なった.

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© 2021 日本表面真空学会学術講演会
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