多軸制御RHEEDシステムの構築とSi立体構造表面の逆空間マップ評価法の開発

抄録

MEMSの立体デバイスの性能向上のためには、外界との境界領域やキャリア輸送領域である立体構造の側壁表面やファセット表面の原子精度での制御が重要である。我々は電子線入射方位角(φ)の異なる複数枚の RHEEDパターンから、三次元逆空間マップを作成する多軸RHEEDシステムを構築してきた。現在、測定装置・ソフトの改良を行い 3D-Si 試料のファセット表面の測定に成功した。講演ではその詳細を報告する。