ファセット化マクロステップがある微斜面の表面荒さ

抄録

ファセット化したマクロステップのある微斜面について表面荒さをモンテカルロ法で計算した。平衡状態（Δμ=0）ではゆらぎ幅はゼロであったが、非平衡定常状態ではゆらぎ幅が表面のサイズが増大すると増大することが得られ、表面の幅はマクロステップの形成・解消点Δμ_R（表面サイズに依存する）で最大にななった。これは微斜面がラフであることを示す。