日本表面真空学会学術講演会要旨集
Online ISSN : 2434-8589
2021年日本表面真空学会学術講演会
セッションID: 2P07
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2021年11月4日
ファセット化マクロステップがある微斜面のラフネス指数と マクロステップ形成・解消スケーリング関数
*阿久津 典子
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抄録

ファセット化マクロステップを持つラフな微斜面について、モンテカルロ法により表面の幅を計算した結果を解析した 。 見かけのラフネス指数αpは駆動力に依存し、サイズが大きくなると少しではあるがより大きくなった。 しかし、さらにマクロステップの形成・解消点ΔμR近傍を解析したところ、マクロステップの形成・解消に関するスケーリング関数を得た。この関数の性質から真のラフネス指数は0.60であることを明らかにした。

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© 2021 日本表面真空学会学術講演会
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