日本表面真空学会学術講演会要旨集
Online ISSN : 2434-8589
2021年日本表面真空学会学術講演会
セッションID: 2P16S
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2021年11月4日
シラス多孔質ガラス薄膜形成におけるスピノーダル分解制御因子の抽出
*茶谷 那知野口 大輔寺村 享祐矢野 智泰栗原 路子近藤 千恵子
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抄録

本研究室では九州南部に広く分布する火山噴出物であるシラスを原料とした機能性材料の研究開発を実施している。その中で親水特性向上の為にガラスの相分離現象を利用した多孔質薄膜の作製に成功しており、優れた防曇特性を長期間維持することを期待されている。本研究ではスパッタ法で作製した薄膜のスピノーダル分解制御因子を明らかにし、成膜条件による薄膜組成の変化との相関関係及びそのメカニズムの解明を目的とする。

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© 2021 日本表面真空学会学術講演会
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