スパッタ粒子の運動エネルギーを利用した相分離スパッタ技術の開発

抄録

新たな防曇材料として南九州特有の火山噴出物であるシラスに着目した。これまでガラスの相分離現象を利用した薄膜構造の多孔質化により防曇性の長期間維持を試みてきた。しかし、一般的に熱処理が必要な相分離現象では、需要が高まる耐熱性に乏しい基板に対応できない。本研究はシラス薄膜の低温での相分離スパッタ技術開発を目的とし、熱エネルギーに代わり、薄膜構造に影響を与えるスパッタ粒子の運動エネルギーの利用を試みた。