有機ナノ薄膜のせん断挙動に関する分子動力学解析

抄録

微細加工技術のひとつとしてナノインプリント法が広く用いられている中で,アライメントや有機材料の充填，離型時のモールド-有機材料界面の摩擦特性などのナノトライボロジー現象に関する経験的予測が難しくなっている．

本研究では，ナノトライボロジー現象に関する基礎的知見の獲得に向けて，有機材料の種類や基板ラフネス，押しつけ圧力などのせん断条件がせん断応力に及ぼす影響について原子レベルでの考察を行った．