主催: 日本表面真空学会
キヤノン株式会社 R&D 本部 製品技術第一開発センター
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酸化物中のMn価数は通常の価数計測方法(X線光電子分光、蛍光X線分析など)では容易には計測できない。Mnが非主成分である場合さらに計測が困難になることは想像に難くない。本発表ではBaTiO3中の1atomic%以下のMnの価数を、2つの標準試料LaMn3+O3、SrMn4+O3を用い、2次イオン質量分析によって得た複数のMnOx質量スペクトルから成るパターンから計測した結果を報告する。
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