機械学習による電界イオン顕微鏡像の結晶方位の同定

抄録

電界イオン顕微鏡(FIM)は先端を先鋭化した試料表面の原子配列を観察でき、電界蒸発中に連続撮影したFIM像により試料原子配列の3次元再構成を行うことで内部構造まで観察可能である。その際に必要とされる圧縮率算出に向けて、機械学習を用いてタングステンFIM像の結晶方位を自動同定した。結果として、全データ数の88%に対して正しい結晶方位が出力されたことから、この方法は有効であることが示された。