超微粒子ビームにより作製したPZT皮膜への半導体レーザ照射

超微粒子ビームによる材料加工の基礎的研究（第17報）

抄録

本研究では超微粒子ビーム皮膜形成法により作製したPZT皮膜の強誘電体特性改善のために半導体レーザ照射を行った。基板への損傷を避けるためレーザビームをPZT皮膜表面に集光し、特性改善に必要なレーザ強度について調べた。