Sol-gel/PLD複合プロセスによるPZT薄膜の作製に及ぼす基板温度の影響

抄録

本研究では，Sol-gel/PLD複合プロセスのPZT薄膜の電気的特性を改善するために、その結晶構造、微細組織および電気的特性の基板温度への依存性を調べた。