溶接学会全国大会講演概要
平成２０年度春季全国大会
セッションID: 414
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主催: 社団法人 溶接学会

SiCとTi/Al多層膜の界面反応制御によるSiCへのTi3SiC2層の形成
*前田 将克, 高橋 康夫
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キーワード: 界面反応制御, コンタクト膜, 炭化ケイ素, チタン／アルミニウム多層膜
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抄録

炭化ケイ素とチタン，アルミニウムからなる多層膜の界面反応を適切に制御することによりTi3SiC2層を炭化ケイ素に接して均質に形成する方法を提案し，実証した．

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© 2008 社団法人　溶接学会
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