レーザ照射による酸化チタン皮膜の表面形態変化

抄録

エアロゾルビームプロセッシングにより酸化チタン皮膜を形成し、皮膜表面に高強度短パルスレーザを照射した。照射部を観察した結果、アブレーションせずに形態が変化している事が分かった。続いて、照射部にCWレーザを照射した。その結果、更に形態を変化させる事に成功した。