酸化銀ペーストを用いた接合におけるパラジウム粒子添加による耐イオンマイグレーション性の向上

抄録

酸化銀ペーストにパラジウム粒子を添加し焼結することで銀－パラジウム層を達成し、イオンマイグレーション耐性の向上を図った。パラジウム量の増加に伴い、マイグレーション耐性が向上することが、一方で接合強度は低下し、添加量の最適化を図る必要性が示された。