Alワイヤボンディング用超硬ツールにおける表面摩耗とAl付着の観察

抄録

Alワイヤのウェッジボンディングでは，ワイヤの加振に超硬ツールを用いる。ツールとAlワイヤとの接触部は，繰り返しの接合に伴い，ツール表面の摩耗及びAlの付着が見られ接合性に影響を及ぼすことが判っている。摩耗及びAl付着のメカニズムの解明に向け，電子顕微鏡などを用いて摩耗及び付着の形態を観察した。