走査型電子顕微鏡（SEM）の基本原理と実用例

抄録

走査型電子顕微鏡（Scanning Electron Microscope：SEM）は，ナノメートルからミリメートルオーダーの試料構造を観察できることから有機・無機材料，電子部品，半導体，エネルギー，ライフサイエンスなど幅広い分野の研究機関や開発の現場で活用されている。近年のSEMは，高性能化に加え操作性の向上や実用的な機能搭載によりますますその活用範囲を広げている。本稿ではSEMの基本原理からSEMで得られる情報，最新のSEM解析事例について紹介する。