高輝度軟X線放射光を用いた顕微分光

抄録

軟X線顕微分光は，物質の機能性を空間的に可視化することができる，他に類を見ない手法であり，NanoTerasuの高輝度軟X線を用いることで，そのエネルギー分解能や空間分解能も飛躍的に向上することが期待される。本稿では顕微分光の高輝度光源による恩恵，軟X線分光についての原理や特徴，これまでの軟X線顕微分光の応用事例などについて解説する。