パルス電子銃を備えた電子顕微鏡は,カメラのシャッタースピードよりも高速な現象を捉えることができる.しかし,その時間分解能はピコ秒を下回る程度であり,原子や電子の高速の動きを捉えるには不十分な場合が多い.最近になり,ピコ秒やフェムト秒よりも更に短いアト秒の時間分解能を達成可能な方法として,レーザー光による電子ビームの変調という新たな手法が開発されつつあり,注目を集めている.本稿では,光変調された電子ビームを用いた超高速透過電子顕微鏡法について,その背景,光変調の原理,これまでに報告された応用例を概説する.アト秒の時間分解能を有した電子顕微鏡法は,これまで困難であった物質中の電子の微視的な動きや光の電磁場を可視化できる強力な手法となるであろう.