ポリメタクリル酸クロリドの電子ビーム照射特性
1980 年 37 巻 4 号 p. 299-302
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1980 年 37 巻 4 号 p. 299-302
ポリメタクリル酸クロリドを合成し, その電子ビーム照射特性を調べた. ポリマー鎖にハロゲン原子を導入した場合, 電子ビームの照射エネルギーの吸収率が電子密度の増大により上昇することが予想される. そのためポリメタクリル酸ハライドについて, ハロゲン原子の電子透過距離に及ぼす影響を考察した. また, Betheの式を使ってポリメタクリル酸クロリドの加速電圧と電子透過距離を算出し適性塗布膜厚を求めた. ポリメタクリル酸クロリドについて分子量分布, 現像特性, 画像特性から電子ビームに対するポリマーの適性を調べた.
