有機ケイ素化合物のプラズマ重合膜の気体透過性
1988 年 45 巻 6 号 p. 527-529
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1988 年 45 巻 6 号 p. 527-529
プラズマ重合膜の気体透過特性に及ぼすモノマーの影響をみるため, テトラメチルシラン及びそのメチル基がエトキシ基に置換した5種類の有機ケイ素化合物をモノマーとして用い, 多孔質膜上にプラズマ重合膜を形成した. この膜のIR分析及び気体透過特性の測定を行った. プラズマ重合膜はモノマーの構造をかなり保持していることがIR分析の結果から推察された. 酸素/ 窒素透過速度比はエトキシ基の置換数が増すにつれ低下した. また, 酸素透過速度は2置換のモノマーが最大値を示した. 有機ケイ素化合物のプラズマ重合膜においてはモノマー中のケイ素の酸化数が気体透過特性を打定する重要な因子であることが分かった.
