マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集
Online ISSN : 2434-396X
第20回マイクロエレクトロニクスシンポジウム
会議情報

主催: 一般社団法人エレクトロニクス実装学会

第20回マイクロエレクトロニクスシンポジウム
Hot Wire法により生成した水素ラジカル還元・洗浄を用いた高密度三次元実装に向けた応用研究
*野北 寛太, 中島 毅, 田畑 浩二, 太夫本 悟, 宮本 幸司, 佐藤 充弘, 和泉 亮
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p. 87-90

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