表面張力を利用したSi薄ダイのセルフアライメントにおけるロバスト性評価

マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集

Online ISSN : 2434-396X

第22回マイクロエレクトロニクスシンポジウム

DOI https://doi.org/10.11486/mes.22.0_53

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主催: 一般社団法人エレクトロニクス実装学会

第22回マイクロエレクトロニクスシンポジウム

表面張力を利用したSi薄ダイのセルフアライメントにおけるロバスト性評価

*廣島満, 有田潔, 土師宏, Bernhard Oberhofer, Christof Landesberger, Sabine Scherbaum, Josef Weber, Karlheinz Bock

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会議録・要旨集フリー

p. 53-56

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