マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集
Online ISSN : 2434-396X
第25回マイクロエレクトロニクスシンポジウム
会議情報

主催: 一般社団法人エレクトロニクス実装学会

第25回マイクロエレクトロニクスシンポジウム
65nm MOSFET及びCMOSインバータの電気特性に及ぼすTSVの応力の影響
*田代 浩子, 石塚 剛, 北田 秀樹, 作山 誠樹
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p. 351-354

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